布鲁克斯仪器仪表公司凭借70年的丰富经验和可靠的测量技术,持续稳定地为您提供高水准的工艺流程。Brooks 系列产品特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性,而上述特性正是行业者对质量流量测量和控制技术的需求所在。产品设计采用的可配置多气体/多量程功能,相较于竞争产品拥有更好的零点漂移参数并且经确证能够更持久地保持出厂校准状态和精度。
BROOKS 5850E参数:
·型 号: BROOKS 5850E
·量 程: 3sccm-1000SLPM
·测 量 精 度: 满量程的1%
·控 制 范 围: 50:1
·反 应 时 间: 2s
·输入输出信号: 0-5V
·电 源: ±15V
·零 点 稳定 性: 每年变动小于满量程的±0.2%
·工作温度范围: 5~65℃(41~149℉)
·工作压力范围: 0-1500 psi/0-100 bar
·压差控制范围: 5-50psi/0.35-3.45bar
·漏率(外部): 1x10-9 atm. cc/sec He
·阀 门 类 型: 常开、常闭、仪表
·密 封 材 料: 316L不锈钢、高合金不锈钢、Viton? 氟橡胶、Buna-N、Kalrez 和 Teflon
·电 气 连 接: 15 针公接头 Sub D 型连接器 (DA-15P) 或 Card Edge 连接器(仅控制器型号)